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단국대는 반도체 전문인력을 키우기 위한 ‘DKU 클린룸 센터’가 문을 열었다고 8일 밝혔다.DKU 클린룸 센터는 죽전캠퍼스 대학원동 6층에 연 면적 926㎡로 만들어졌다. 센터에는 클린룸, 분석계측실, 공정실습실1·2, 가스저장실, 장비분석실, 강의실 등이 있다. 설계부터 소자·공정, 테스트·후공정까지 한번에 교육할 수 있도록 한 시설이다.단국대는 센터에 반도체 소자의 전기적 특성 평가 및 분석 장비인 ‘프로브스테이션 및 반도체칩 특성 평가 장비’, 시료의 표면 특성을 나노 단위로 분석하는 ‘고해상도 주사형 원자력 현미경’, 고에너지 자외선을 사용해 회로 패턴을 웨이퍼(반도체의 기판) 표면에 형성하는 ‘6인치 웨이퍼 UV노광장비’ 등을 도입했다.이밖에 고온으로 재료를 증발시켜 기판에 박막을 증착하는 ‘진공열 증착기’, 웨이퍼를 짧은 시간 고온에 노출해 물리·화학적 변화를 유도하는 ‘급속 열처리 시스템’ 등도 구축했다.단국대는 센터에서 반도체 산업체 수요를 반영한 전...

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